Сучасні технології виготовлення тривимірних електронних пристроїв

З розвитком високих технологій стає реальним випуск тривимірних електронних пристроїв (ТЕУ), зокрема мікронних та субмікронних багатошарових схем. На основі класифікації формування ТЕУ на плоских (2D) та квазіоб'ємних (квазі-3D) підкладках розглянуто основні принципи та характеристики технологій плоского друку. Зроблено висновок про неможливість виготовляти за цими технологіями об'ємні структури складної форми у безперервному технологічному циклі, а також проаналізовано можливості сучасних технологій для виробництва ТЕУ. Класифікація даних технологій за фізичним принципом впливу на конструкційний матеріал та виявлення їх загальних недоліків показали, що використання даних технологій не дозволяє ефективно формувати багатошарові складні 3D-об'єкти. Вирішенням даної задачі є ще тільки гібридні технології, що розробляються, названі в даній роботі квазі-40-технологіями формування ТЕУ, оскільки в даний час вони знаходяться лише на стадії розробки (є перед-4D-технологіями або 3D+-технологіями), практично не забезпечені необхідними матеріалами та елементною базою, але мають потенційні можливості для створення повноцінних 40-об'єктів. Першим кроком для створення квазі-4D-технологій формування ТЕУ є впровадження 3D MID-технологій. Проведено порівняльний аналіз можливостей різних 3D MID-технологій формування ТЕУ, виявлено недоліки даних технологій та наведено приклади їх реалізації у промисловості. У той же час, виходячи з можливостей сучасних технологій, створено класифікацію 4D-об'єктів (здатних змінювати свою форму або структуру після їх створення залежно від зовнішніх умов, наприклад, при зміні температури, при механічному впливі тощо) ТЕУ та технологій для їх формування. Цей навчальний посібник є першою книгою з технологій виготовлення, сканування та візуалізації тривимірних електронних пристроїв. У другій книзі буде розглянуто технології сканування тривимірних електронних пристроїв різних діапазонів, зокрема нанометрового діапазону. Окремий розділ другої книги буде присвячений можливостям виготовлення електронних тривимірних пристроїв нанометрового діапазону із застосуванням методів скануючої мікроскопії. Третя книга буде присвячена технологіям візуалізації (засобам відображення інформації) для контролю параметрів ТЕУ, створення нових ТЕУ та технологій реінжинірингу ТЕУ. Навчальний посібник може бути рекомендований бакалаврам та магістрам вищих навчальних закладів. Видання друге, виправлене та доповнене